原理:
物鏡將樣品發(fā)出的散射、反射、熒光光線校正為平行光束,后端搭配管鏡聚焦成像;
僅采集可遠(yuǎn)距離傳播的傳播波,無法捕獲緊貼樣品表面、指數(shù)衰減的倏逝波,因此存在衍射分辨率上限;
優(yōu)勢:可在物鏡與樣品間插入偏振片、分光鏡、相位環(huán)等光學(xué)附件,不產(chǎn)生像差畸變,適配多光路精密檢測系統(tǒng)。
應(yīng)用場景:
工業(yè)檢測領(lǐng)域:用于半導(dǎo)體晶圓、厚層PCB板、大尺寸工件的表面缺陷觀測,長工作距離可避免鏡頭觸碰工件造成損傷。
生物科研領(lǐng)域:適配培養(yǎng)皿內(nèi)活體細(xì)胞的長時間無接觸觀測,配合熒光模塊可實(shí)現(xiàn)多波長消像散成像,保障細(xì)胞活性不受鏡頭干擾。
特殊工況觀測:可在高溫爐腔、真空腔等封閉空間外,隔著透明窗口完成內(nèi)部樣品的顯微觀測,無需打開腔體破壞實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
遠(yuǎn)場顯微物鏡的使用注意事項(xiàng):
清潔維護(hù):使用專用鏡頭紙和光學(xué)清潔劑,避免劃傷鍍膜
避免碰撞:高倍物鏡工作距離短,操作時需小心避免物鏡與樣品碰撞
環(huán)境控制:溫度變化會引起焦距漂移,準(zhǔn)確測量需在恒溫環(huán)境下進(jìn)行
浸沒介質(zhì):油浸物鏡需使用匹配折射率的浸油,水浸物鏡使用去離子水
存儲:長期不用時放入干燥箱,避免鏡片發(fā)霉
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